歷史1915年，德國物理學(xué)家W.蓋得發(fā)表了他研究的擴(kuò)散泵報(bào)告。

1916年，美國人I.朗繆爾制成泵壁帶有冷卻系統(tǒng)的冷凝泵。這些泵以汞蒸氣為工作介質(zhì)，并且可以*終獲得10-5帕的真空。

1928年,英國人C.D.伯爾奇發(fā)現(xiàn)高沸點(diǎn)的石油衍生物。

1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。這兩種油在室溫下的飽和蒸氣壓都非常低，從而取代了汞作為擴(kuò)散泵的工作液。從此油擴(kuò)散泵在高真空領(lǐng)域的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)試驗(yàn)中就逐漸普遍使用，并打下了高真空技術(shù)的基礎(chǔ)。

1960年代開始，油擴(kuò)散泵又有了新的改變。

主要的改進(jìn)是：

①泵的材料采用放氣量微小的不銹鋼。

②采用飽和蒸氣壓很低、熱穩(wěn)定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。

③改變結(jié)構(gòu)，新款的油擴(kuò)散泵在泵的進(jìn)氣口法蘭不變和不過分增大泵的外形尺寸條件下，在法蘭下部突出地?cái)U(kuò)大泵腔的斷面，其抽氣速率可增大20～40％。如在此裝設(shè)一個(gè)大直徑擴(kuò)散噴嘴和液氮冷卻的大直徑擋油帽等等。該泵可有通常泵（指沒有擴(kuò)大泵腔斷面的泵）的抽氣速率，并比較徹底地克服了泵的返油而獲得低于10-8帕清潔超高空。

因此,油擴(kuò)散泵在清潔超高真空的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)試驗(yàn)中又取得重要的地位。